近日，耐氟隆集團與溫州市化學與材料學會氟材料應用技術分會歐洲考察團，赴比利時、德國、意大利開展產(chǎn)業(yè)對接與技術交流。此次行程以“突破超純電子級（UHP）襯氟閥門、管件及設備核心氟材料瓶頸”為核心目標，通過深度對接歐洲知名企業(yè)與產(chǎn)業(yè)園區(qū)，為超純電子級襯氟部件進軍高端半導體應用領域尋找關鍵突破口。

01直擊部件核心痛點，鎖定歐洲材料標桿

  考察團將核心目標聚焦意大利兩大氟材料巨頭—Fluorseals公司與ITAflon集團。作為意大利最大的氟材料制品與加工企業(yè)，F(xiàn)luorseals在半導體密封件領域的精密加工技術與全流程品質(zhì)管控體系，讓考察團重點關注?！鞍雽w濕法工序中的超純電子級襯氟閥門、管件以及設備等部件，過流介質(zhì)為電子級氫氟酸，需要控制金屬陽離子析出量、陰離子含量以及總有機碳(TOC)含量符合SEMI F57標準要求，內(nèi)壁表面粗糙度達到≤0.6μm以下的超潔凈標準，這堪稱襯氟部件制造的‘生死線’。耐氟隆集團董事長方賢樂在參觀時直言，國內(nèi)襯氟產(chǎn)品在普通工業(yè)場景已成熟，但半導體領域對材料純度、制造過程杜絕雜質(zhì)污染的嚴苛要求，導致高端襯氟閥門與管件長期依賴進口，成為制約公司切入超純電子級（UHP）襯氟閥門、管件核心供應鏈，導致國產(chǎn)高端半導體核心設備受到制約。ITAflon集團在改性PTFE、PFA等高端材料領域的技術積累，與耐氟隆需求高度契合。其研發(fā)的超純電子級（UHP）氟材料通過注塑成型工藝可實現(xiàn)金屬陽離子析出量≤0.01ppb，能滿足7納米及以下制程的設備要求，雙方在交流中迅速達成共識，明確將技術合作直接落地到超純電子級（UHP）襯氟閥門、管件及設備的升級上。

02 簽署合作意向，共建襯氟超純電子級部件國產(chǎn)化通道

  在意大利考察期間，經(jīng)意大利國家工業(yè)聯(lián)合會牽頭，耐氟隆與ITAflon正式簽署戰(zhàn)略合作意向書，核心圍繞“半導體級PFA/改性PTFE材料研發(fā)+襯氟部件一體化應用”兩大方向開展聯(lián)合研發(fā)。“耐氟隆在襯氟閥門、管件及設備領域的全品類生產(chǎn)經(jīng)驗和國內(nèi)市場渠道，是我們技術落地的最佳場景?！盜TAflon集團董事長Mirko Zanga表示，歐洲材料企業(yè)缺乏終端部件的應用驗證能力，而耐氟隆能提供從材料驗證到襯氟閥門、管件成型的全流程測試環(huán)境。方賢樂則補充道：“借助ITAflon的材料技術，我們的襯氟閥門可實現(xiàn)低金屬離子析出、表面高潔凈度，管件能避免介質(zhì)滯留與顆粒污染，預計可將國產(chǎn)半導體用襯氟核心部件的自主化率提升40%，打破進口產(chǎn)品的價格壟斷與供應壁壘?！彪p方計劃共建聯(lián)合實驗室，重點解決材料改性后的精密成型工藝問題，確保技術快速轉化為合格的超純電子級（UHP）級襯氟產(chǎn)品，服務于高端半導體行業(yè)。

03對標歐洲生態(tài)，升級襯氟產(chǎn)業(yè)底座

  除企業(yè)對接外，考察團還深入比利時安特衛(wèi)普、德國多爾馬根化工園區(qū)，重點學習其“材料-部件-終端設備”的協(xié)同創(chuàng)新模式與潔凈生產(chǎn)標準。歐洲園區(qū)內(nèi)材料企業(yè)與部件廠商的緊密聯(lián)動機制，為耐氟隆構建超純電子級襯氟產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈提供了關鍵借鑒?！耙郧拔覀兙劢共考a(chǎn)，這次才發(fā)現(xiàn)，電子級襯氟產(chǎn)品的突破需要材料研發(fā)、精密加工與潔凈檢測的同步升級。”考察團負責人表示，未來溫州氟材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)的升級，將圍繞耐氟隆的需求，引入材料純度檢測、表面粗糙度校準等配套企業(yè)，形成襯氟閥門、管件及設備的完整產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

拼閥網(wǎng)編輯：小林

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